微波等离子清洗机由五部分组成:外壳框架系统、微波放电系统、真空系统、供气系统和控制系统，该设备控制方式为触摸屏+PLC，操作方式包括自动模式和手动模式，在自动模式下将不同工艺参数按照配方方式管理，可同时存储50组不同的配方。设备设计有工作气体耗尽报警，压缩空气压力低于设定值报警、泵热过载报警、反应仓泄露率过大报警等安全功能。微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免静电损伤。
微波等离子清洗机原理:
微波笔离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在直空腔内压力到达一定范围时充入工艺气体,当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氙、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。