低温等离子体表面处理仪主要由供气控制单元，真空室，等离子发生器，真空泵，等几部分组成，通过电容式耦合射频辉光放电的方式产生低温等离子体。等离子体中含有丰富的离子、电子、自由基等活性粒子，可以对材料表面产生多种效应。在刻蚀和清洁作用的同时，等离子体中的活性粒子将羧基(-COOH)、羟基(-OH)等含氧功能基团引入材料表面，增强材料表面的活性位点，提升材料的表面能，实现材料的表面活化。
低温等离子体表面处理仪工作流程:
设定低温等离子体处理仪参数→样品放入处理腔正极板上→打开真空泵→待真空度降至100Pa以下→开启放电电源→处理完毕取出样品