| 参数名称 | 单位 | DL-855/4P-CMP | |
| 主电源 | V | 三相 380 | |
| 主电机功率 | KW | 15 | |
| 主电机转速 | RPM | 0~85 | |
| 上盘驱动电机转速 | RPM | 0~70 | |
| 抛光盘尺寸 | mm | 855 | |
| 加工尺寸 | 寸 | 2-8 | |
| 工作工位 | 组 | 4 | |
| 工件盘尺寸 | mm | Φ305x15 | |
| 单工位压力 | Kg | 20~300 | |
| 抛光液流速 | L/min | 15（可调） | |
| 主盘温度检测 | 度 | ±5 | |
| 设备尺寸（W x D x H） | mm | 1200x1650x2250 | |
| 设备重量 | Kg | 约2450 | |
核心产品详情
单面CMP抛光机
产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌梦启半导体
价格0.00
发货地广东省深圳市光明区
型号单面CMP抛光机
详细信息
深圳市梦启半导体装备有限公司 AI 产品顾问
精简顾问模式，可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。