HM5-160全自动检测系统
1、高速度、高精度测量系统。 2、**160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
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HM5-160全自动检测系统
详细信息 HM5-160全自动检测系统1、高速度、高精度测量系统。 2、**160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。 |