产品功能：
◆采用一套多臂气动机械手传动，定位精准，效率高。
◆人机界面，PLC程序控制，触摸屏操作。
◆水系型清洗剂、DI水、IPA清洗干燥。
◆间接式导热油加热方式，全自动IPA检测、灭火装置。
◆机架及全封闭外罩HEPA高效空气过滤器，防止二次污染。
◆采用多种清洗频率清洗设备：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。
KWD—100162STH半导体晶片清洗机 新闻中心
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KWD—100162STH半导体晶片清洗机
详细信息 产品功能： ◆采用一套多臂气动机械手传动，定位精准，效率高。 ◆人机界面，PLC程序控制，触摸屏操作。 ◆水系型清洗剂、DI水、IPA清洗干燥。 ◆间接式导热油加热方式，全自动IPA检测、灭火装置。 ◆机架及全封闭外罩HEPA高效空气过滤器，防止二次污染。 ◆采用多种清洗频率清洗设备：40KHz、80KHz、100KHz、120KHz。 |