Sciyea的FSP系列，由聚氨酯发泡制作而成。根据不同的研磨材料，分为氧化铈填充物、氧化锆填充物、氧化铝填充物、以及不含磨料的纯聚氨酯抛光垫。
基本信息
厚度：0.5-4.0mm；
圆片尺寸：590mm、640mm、820mm、960mm、1050mm、1180mm、1340mm；
方片尺寸：590*1400、650*1400、700*1400、840*1700、1000*1000mm；
特性
使用寿命长、精度高；
热熔胶（背胶）可以根据客户的特殊要求提供；
精度高，适用于工件粗抛；
可提供标准开槽或根据客户需求特殊规格开槽。
产品详情
| 型号 | 硬度 | 密度（g/c㎡） | 填充物 | 应用领域 |
FSP66 | 80 | 0.42 | CeO₂ | 精密光学、晶圆、晶体 |
| FSP66B | 85 | 0.43 | CeO₂ | 精密光学、晶圆、晶体 |
| FSP66C | 85 | 0.43 | CeO₂ | 精密光学、晶圆、晶体、LCD |
FSP13 | 66 | 0.35 | CeO₂ | 精密光学、晶圆、晶体 |
| FSP35 | 90 | 0.59 | ZrO₂ | 精密光学、晶圆、晶体、LCD |
| FSP26 | 88 | 0.57 | ZrO₂ | 精密光学、玻璃 |
| FSP57 | 88 | 0.51 | None | 精密光学、石英、半导体基板 |
FSP20 | 92 | 0.58 | None | 精密光学、晶圆、晶体 |