沈阳中科汉达科技有限公司  

HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大，耐用，可靠的气相外延生长系统，适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同质/异质外延生产。内置新研发的控制系统和多温区加热系统，支持配方功能，方便工艺参数调用及储存，设备结构简单，操作方便，实用性强，能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求。