沈阳中科汉达科技有限公司  

电阻式PVT AlN生长设备是自主研发的电阻法加热晶体生长炉，具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统，适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体，可实现AlN晶体的同质和异质外延生长。