无纺布抛光垫 | ||||||
型号 | 密度g/cm3 | 压缩率% | 压缩弹性率% | 硬度邵氏A | 性能特点 | 应用 |
NW-70 | 0.36 | 4-5 | 90 | 72A | 耐磨不拉丝，寿命长 | 金属、不锈钢精抛 |
NW-75 | 0.37 | 4-5 | 80 | 76A | 软性材质，贴合性好 | 蓝宝石衬底搭配氧化硅 |
NW-80 | 0.37 | 3-4 | 80 | 80A | 搭配氧化硅，表面质量高 | 硅片、砷化镓衬底 |
NW-90 | 0.45 | 2-3 | 70 | 90A | 搭配氧化铝，抛光速率高 | 蓝宝石、碳化硅衬底 |
无纺布抛光垫是一款毛毡状的抛光垫，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能处于聚氨酯抛光垫
和阻尼布抛光垫的中间位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
应用领域：
半导体晶圆，蓝宝石，光学镜片，金属等材料CMP。
定制服务：
硬度、尺寸、沟槽等可按需求定制。