上海耀他科技有限公司  

上海耀他科技有限公司是一家高新科技公司，服务大中华地区(包含中国大陆，香港，台湾和澳门)的客户，专注于为高校、研究所、企业研发及FAB厂提供技术咨询、产品销售和售后技术支持。上海耀他科技有限公司主要产品包括薄膜工艺系统、表面分析检测系统以及其他微纳尺度工艺所涉及的相关系统。在薄膜工艺系统领域，产品覆盖薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备等，典型的工艺系统涉及PVD物理气相沉积（磁控溅射、热蒸镀、电子束蒸镀）、CVD化学气相沉积（PECVD、ALD、PA-MOCVD）、干法刻蚀（RIE、ICP、DRIE、IBE、RIBE）、晶圆/掩模版清洗系统（单晶圆清洗、兆声清洗），应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。在表面分析检测领域，产品涉及用于材料表面分析应用的飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）、用于气体分析的电子电离质谱（TOF-MS）等。 [详细介绍]