产品特点
干进干出
有支持大批量生产的多样辅助设备
优越的工艺性能
研磨终点检出监视器(可选)
在线膜厚测定仪(可选)
Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
核心产品详情
F-REX200M2化学机械研磨设备
产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌上海荏原
价格0.00
发货地上海市浦东新区
型号F-REX200M2
范围120-200目
详细信息
上海荏原精密机械有限公司 AI 产品顾问
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