规格：
罗茨旋片机组 | 抽气速率(L/S) | 极限真空 | 主泵 | 中间泵 | 首级泵 | 配用功率 | 进气口径 | 排气口径 |
JZJ-70 | 70 | 0.5pa | ZJ70 | / | 2x-8 | 3(1.1) | 80 | 50 |
JZJ-150 | 150 | 0.5pa | ZJ150 | / | 2x-30 | 3(3) | 100 | 100 |
JZJ-300 | 300 | 0.5pa | ZJ300 | / | 2x-70 | 4(5.5) | 200 | 160 |
JZJ-600 | 600 | 0.5pa | ZJ600 | / | 2x-70 | 5.5(5.5) | 200 | 160 |
JZJ-1200 | 1200 | 0.5pa | ZJ1200 | / | 2x-70=2 | 22 | 300 | 300 |
JZJ1200B | 1200 | 0.1pa | ZJ1200 | ZJ300 | 2x-70 | 20.5 | 300 | 300 |