结构特点 Features
i ◆ 金属膜片密封 ,提高产品的洁净度与泄漏率
◆ 流道内部电解抛光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母体螺纹:1/2"JFS接头
◆ 内部容积:1.07in³
◆ *大流量:标准:30 SLPM,高流量 *HF:120 SLPM
◆ 设计验证压力:*大额定压力的150%
◆ 设计爆炸压力:*大额定压力的300%
◆ 100%出厂氦气测试
结构特点 Features
i ◆ 金属膜片密封 ,提高产品的洁净度与泄漏率
◆ 流道内部电解抛光粗糙度:EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母体螺纹:1/2"JFS接头
◆ 内部容积:1.07in³
◆ *大流量:标准:30 SLPM,高流量 *HF:120 SLPM
◆ 设计验证压力:*大额定压力的150%
◆ 设计爆炸压力:*大额定压力的300%
◆ 100%出厂氦气测试
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