结构特点 Features
◆ 金属膜片密封 ，提高产品的洁净度与泄漏率
◆ 流道内部电解抛光粗糙度：EP: Ra 5 μin BA: Ra 10μin
◆ 母体螺纹：1/4"JFS接头
◆ 内部容积：0.49in³
◆ ＊大流量：标准:30 SLPM,高流量 HF:120 SLPM
◆ 设计验证压力：＊大额定压力的150%
◆ 设计爆炸压力：＊大额定压力的300%
◆ 100%出厂氦气测试
产品应用 Product application
◆ 腐蚀性和特殊气体
◆ 半导体行业
◆ 研究实验室
◆ 化学工业
技术参数 Specifications
◆ 母体 ：SS316L ，SS316L VIN/VAR ，Hastelloy®C22
◆ 阀座： PCTFE，Vespel®
◆ 膜片 ：SS316L，Hastelloy®C22合金
◆ 进气压力：300, 3500psig
◆ 出气压力：10,15,25, 50, 100, 150psig
◆ 工作温度：PCTFE：- 10℃至80℃ ( 14℉至176℉)
Vespel®：- 26℃至177℃ ( 15℉至350℉)
◆ 泄漏率：
内漏2x10-10 sccs He
外漏2x10-9 sccs He
◆ 流量参数：Cv =0. 09 HF Cv=0.15