真空炉一般由炉体、炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统、控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳-般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。根据炉子用途炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻丝、硅碳棒、硅钼棒、感应线圈、电较和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。
主要用于:冷热作模具钢、高速钢、弹性合金、高温合金、不锈钢、钛合金、磁性材料等材料的真空热处理。
真空淬火: (回火、 退火)就是通过把材料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来达到预期性能的一种处理方法。
真空钎焊:即在真空状态下，把一组焊接件加热到填充金属熔点温度以上,但低于基体金属熔点温度,借助于填充金属对基体金属的湿润和流动形成焊缝的一种焊接工艺(钎焊温度因材料不同而异)。
真空烧结:即在真空状态下，把金属粉末制品加热，使相邻金属粉末晶粒通过粘着和扩散作用而烧结成零件的一种方法。
真空加磁:主要适用于金属材料加磁处理。