Alicat的LKF5系列数字式质量流量控制器可精确、快速控制
腐蚀性气体(如:NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
更适用于液体气化后的流量控制。
如:氨水、硅油气化后,限度允许气体湿度195%。
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详细信息 Alicat的LKF5系列数字式质量流量控制器可精确、快速控制 腐蚀性气体(如:NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量 流量、体积流量、压力和温度。LKF5系列质量流量控制器 通过定制化的高速比例控制阀还可精确控制腐蚀性过程 气体的质量流量、体积流量和压力。
更适用于液体气化后的流量控制。 如:氨水、硅油气化后,限度允许气体湿度195%。 |