真空气相沉积炉

1. 设备用途

        本设备主要用于碳素制品的化学气相沉积增密处理，或以碳氢气体为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理及碳毡制品真空碳化其热处理。

1. 设备特点

        1. 双层SUS304炉体结构，中间通以冷却水，有效降低炉体表面温度，减少高温伤害，降低对环境的影响；
        2. 采用先进的保温材料及隔热结构，导热系数低，保温效果好，即使在很高的温度下也能有效隔绝热量，节约能耗；
        3. 能够准确控制气体流量和压力，通过特殊的导气结构和装置，大大提高产品的合格率，降低沉积时间；
        4. 通过特殊的过滤装置，使其热解过程的碳粉几乎完全过滤，不进入真空机组，大大延长了真空机组的使用寿命；
        5. 人性化配置，既可以手动操作，也可以实现一键智能操作；
        6. 型式多样化，立式上开门、立式底升式、卧式侧开门，任意选择；
        7. 本产品接受非标定制。

1. 设备参数