材质• 母体: 详见订购参数• 膜片: Elgiloy®• 密封垫: PCTFE• 手柄: AL• 内部泄漏率: 1x10-9 mbar I/s He• 外部泄漏率: 1x10-9 mbar I/s He• 孔径: Ф4.4mm• 重量: 约 0.27kg (不含驱动器)