产品特点：
• 单极式减压器
• 表面光洁度15μin. Ra (10μin. Ra 可选)
• 供气系统的设计
• 采用一体式设计的波纹管做为感应元件
• 材质分别使用 SS 316L，Hastelloy® C176 和 PCTFE制成
• 硬密封结构
• 100%氦气泄漏检测
技术参数：
• 类型：单极式减压
• 进气压力 P1：** 3000 psig
• 出气压力 P2：30/60/100/150 psig
• 表面光洁度：15μin. Ra (标准) 10μin. Ra (可选)
VSR-910UB 超高纯减压器