| 目/模型 | MU300X | |
| 泵组成 | MU100X + MB300 | |
| *1 **泵速50/60Hz[L/min] | 5000 | |
| *1 极限压力[Pa] | 0.5 | |
| **入口压力[Pa] | 大气压力 | |
| 电机额定输出 | 4.4 | |
| 加速时间 | 大约10 | |
| 减速时间 | 大约5 | |
| 冷却水 | **压力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
| 必要*小值 | 0.2 MPa (Gauge Pressure) | |
| 流量体积 | 2 to 3 L/min | |
| 温度 | 10至25摄氏度 | |
| Flange Dia | RC 3/8“(带耦合器) | |
| *2 氮 | 供应压力 | 0.1至0.7 MPa(表压) |
规则压力 | 0.04 to 0.10 MPa(表压) | |
流量体积 | 0 to 10 SLM (Depending on usage) | |
| Flange Dia | 管件1/4“ | |
| 导管 | 压强 | 大气压-负196帕 |
流 | 0.5米/分钟 | |
| Flange Dia | 50×60L | |
电动力 | 进入动力 | 3PH，200~220 V，50/60 Hz *3 允许电压变化土10% |
电容量 | 6.8千伏安 | |
| 运行电流 | 6 to 15 A | |
连接器 | 约3毫安 | |
| 润滑油 | 类型 | 氟油 |
| 体积 [L] | 0.1 + 0.1 | |
| Approx. Weight lkg] | 100 | |
*1） 在没有吹扫气体的情况下。
*2） 抽真空腐蚀性气体等时需要氮气。
该图为密封和稀释所需的总吹扫体积。
*3） 电压的**允许波动，而不是正常电压的范围。