AltraPure SG 气体过滤器

AltraPure® SG 系列颗粒物过滤器，结构紧凑，特别为有限空间内的气体过滤应用进行设计。AltraPure SG系列过滤器，可提供多种精度的过滤元件，过滤工艺气体中≥0.5μm的颗粒物杂质。

过滤器采用烧结式过滤元件，适用与多数工艺气体、惰性气体和CDA的过滤应用。过滤元件可替换，为光伏电池和显示面板制造过程提供了一个低成本的气体过滤解决方案。