AltraPure® GSK 系列嵌入式垫片过滤器，是一种紧凑的全金属过滤器，适用于半导体制程气体分配系统中的采用标准管路的1/4”、3/8”、1/2”VCR连接的场景。
过滤效率＞99.99%，保护敏感气体组件在高达400℃(752℉)的应用中免受颗粒物影响而受到损坏，如：质量流量控制器，调节器和阀门等。
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AltraPure GSK 嵌入式垫片气体过滤器
详细信息 AltraPure® GSK 系列嵌入式垫片过滤器，是一种紧凑的全金属过滤器，适用于半导体制程气体分配系统中的采用标准管路的1/4”、3/8”、1/2”VCR连接的场景。 过滤效率＞99.99%，保护敏感气体组件在高达400℃(752℉)的应用中免受颗粒物影响而受到损坏，如：质量流量控制器，调节器和阀门等。 |