AltraPure® mini & mini XL在线式气体过滤器

AltraPure® mini & mini XL在线式气体过滤器，专为超高纯度气体过滤应用而设计。过滤器采用2层PTFE滤膜，对干燥气体的过滤精度达到0.003μm。独特的结构设计，即使在高流量情况下，仍能保持较低的压力损失。

该过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如：大宗气体输送、沉积、光刻、刻蚀、氧化、扩散、离子注入等干法或湿法制程中工艺反应气体、吹扫气体、保护气体等的过滤。