专用于SiC晶圆的高温氧化工艺，可实现晶圆片高温真空环境下完成氧化工艺。
可使用O2,N2O，NO，NO2或湿法氧化，采用无金属加热和真空装备。
核心产品详情
SiC高温氧化炉
产品参数
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发货地山东省济南市槐荫区
型号SiC高温氧化炉
范围广泛
应用行业广泛
详细信息
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