衬底:2/4/6/8英寸
Substrate size :2/4/6/8 inches 基板サイズ：２/4/6/８インチ
数量:1片/多片
Quantity:1pcs/multiple pcs 数量：１枚/複数枚
控温精度:精度高，温区稳定性好
Temperature control precision : High temperature
control precision and good statlity in temperature zone
温度制御精度：高精密度、温度帯での安定性が高い
结构:立式/卧式可选，满足多种尺寸衬底多种
操作方式需要
Structure: Vtica/horizontal structual is optional,can meet theneeds of customerswith various sizes ofsubstrates and variousoperation modes.
構造：縦型/横型(オプション)、複数の基板サイズ及び動作モードのニーズに対応
安全保护功能:硬件保护+软件互锁
Security protection: Hardware protection+software interlock