3.外延速率:≥200微米/小时。 4.氧化镓同质外延厚度:>20微米。 5.外延片尺寸:2/4/6英寸。
核心产品详情
HVPE卤化物气相外延炉
产品参数
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发货地山东省济南市长清区
型号HVPE卤化物气相外延炉
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