主要特点
◆产能:>25000pcs/h;4800~5280pcs/管(105*210mm)
◆管数:6管
◆压力控制:APC控制方式
◆系统控制:PLC和PC工控机
◆通讯:Melsec,MES.I/O,SECS-II等
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案
工艺规范
◆方阻值:30~60Ω/cmsq
◆极限真空:≤20mbar
◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数量:6个温区
◆**温度:950℃
◆温度均匀性:800℃~950℃±0.5℃
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
◆桨的**承重量:100kg
◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托独立磷源柜，便于更换源瓶
优点
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆使用SiC桨使加载区稳定，SiC舟托使用寿命更长
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用