闭管软着陆扩散系统采用闭管扩散的方式。碳化硅浆把石英舟放入石英管后再退出石英管,保证整个工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺性能优异。
控制系统特点
◎ 软着陆装置采用伺服控制,性能平稳可靠、定位准确、承重量大。
◎ 管内压力采用闭环控制,压强稳定。
◎ 工艺废气冷却回收，保证工艺管道清洁。
◎ 高精度温度控制技术，系统可自动拉温区。
★支持SECS/GEM通讯
主要技术指标
Key technical parameters
◎ 工作温度:600℃-1286℃
◎ 恒温区长度:300~1500mm
◎ 温区精度:±0.5℃
◎ **可控升温速率:15℃/min
◎ **可控降温速率:5℃/min
◎ 装片数量:400片管(特大产能)
晶圆工艺指标
◎ 片内均匀性:<2%
◎ 片间均匀性: <2%◎ 批间均匀性: <2%
◎ 2管、3管、4管分别可选;自动装载机械手可选。
★设备产能、性能、工艺指标优于同类进口设备