主要特点
◆产能:2200~2880pcs/管
◆管数:6管
◆压力控制:APC控制方式
◆系统控制:PLC和PC工控机
◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案
工艺规范
◆方阻值:50~350 Ω/cmsq
◆极限真空:≤20mbar
◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间)
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低压硼扩散炉
详细信息 主要特点 ◆产能:2200~2880pcs/管 ◆管数:6管 ◆压力控制:APC控制方式 ◆系统控制:PLC和PC工控机 ◆通讯:Melsec,MES,I/O,SECS-II等 ◆自动化集成:用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案 工艺规范 ◆方阻值:50~350 Ω/cmsq ◆极限真空:≤20mbar ◆方阻均匀性:<5%(片内/片间/批间) |