设备主要特点
◎ 串级控温系统，恒温区高精度
◎ 具有高抗干扰能力
◎ 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
★支持SECS/GEM通讯
主要技术参数
◎ 可配工艺管数量:1~4管/台
◎ 工作温度范围:200℃~800℃
◎ 恒温区长度:300~11000mm
◎ 单点温度稳定性:±1℃/24h
◎ **可控升温速度:15℃/min;
◎ **降温速度:3℃/min
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LED合金炉
详细信息 设备主要特点 ◎ 串级控温系统，恒温区高精度 ◎ 具有高抗干扰能力 ◎ 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置 ★支持SECS/GEM通讯 主要技术参数 ◎ 可配工艺管数量:1~4管/台 ◎ 工作温度范围:200℃~800℃ ◎ 恒温区长度:300~11000mm ◎ 单点温度稳定性:±1℃/24h ◎ **可控升温速度:15℃/min; ◎ **降温速度:3℃/min |