工艺规范
◆绕镀：<1mm
◆Poly均匀性(80-150nm):<4%(片内/片间/批间)
◆成膜种类：SiNx,SiONx,POLY
硬件规格
◆温区数量：6个温区
◆**温度：650℃
◆温度均匀性：300℃~650℃±1℃
◆晶圆装载法：桨软着陆
◆工艺腔的材质：石英
主要特点
◆产能：616~768pcs/管(双舟)
◆管数：6管
◆压力控制：APC控制方式
◆系统控制：PLC和PC工控机
◆通讯：Melsec,MES,I/O,SECS-II等
◆自动化集成：用于客户优化和MES控制集成的全自动化解决方案
优点
◆快速的工艺认证，允许极高的生产提升
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用