优势
◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产
◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力
◆使用Sic桨使加载区稳定
◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用
硬件规格
◆恒温区长度:2800mm
◆温区数量:6个温区
◆**温度:1050℃
◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃
◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨
◆桨的**承重量:100kg
◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托
低压 硼扩散炉 氧化 退火炉 新闻中心
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低压 硼扩散炉 氧化 退火炉
详细信息 优势 ◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产 ◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力 ◆使用Sic桨使加载区稳定 ◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用 硬件规格 ◆恒温区长度:2800mm ◆温区数量:6个温区 ◆**温度:1050℃ ◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃ ◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨 ◆桨的**承重量:100kg ◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托 |