低压 硼扩散炉 氧化 退火炉

优势

◆快速的工艺认证，可以极高的提升生产

◆工艺过程中APC良好的控制工艺管压力

◆使用Sic桨使加载区稳定

◆更大的正常运行时间和更低的成本，良好的技术支持和服务，确保设备长期稳定使用

硬件规格

◆恒温区长度:2800mm

◆温区数量:6个温区

◆**温度:1050℃

◆温度均匀性:800℃~1050℃±0.5℃

◆晶圆装载法:碳化硅悬臂桨

◆桨的**承重量:100kg

◆工艺腔和舟的材质:石英管&碳化硅舟托