电子束分析设备16"球型UHV超高真空腔室

国内外学术研究机构单位, 各式UHV超高真空设备依客户需求自定义尺寸的设计图稿来制作。

电子束分析设备16"球型超高真空腔室

材质：304S.S.

表面处理：电解抛光

规格：16"球型UHV超高真空腔室

泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec

工作压力<5 x10-10 torr

Flange 角度对心误差 < 0.5ﾟ

高科技真空系统环境制程的开发初期都需要在实验室进行许多测试，Htc日扬真空制造之客制化真空腔体装配于多种实验设备，为研究者提供了适当的工具以进行各项实验。 

Htc日扬真空已建立的实绩包括各种实验用真空镀膜腔体、太空腔仿真装置、表面分析系统、光学量测系统及气体检测设备等，另外也承制了国内外同步辐射中心超高真空系统的腔体、真空镀膜机、蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积真空装置学术研究。。