3位置真空闸阀
高真空3位置真空闸阀
超高真空3位置真空闸阀
规格:
采用附销定气压缸, 可于第3位置停止且准确定位
第3位置利用Reed sensor传感器调整定位
开度重现性佳, 偏差量±1％
可程式控制,弹性大
材质 | 本体 | 304 S.S. | ||
阀车 | 304 S.S. | |||
闸门 | 304 S.S. | |||
波纹管 | AM350 | |||
使用寿命 | HV :DN100 ~ 200_300,000 cycles DN250 ~ 50,000 cycles UHV :DN100 _ 100,000 cycles DN150 ~ 250_50,000 cycles | |||
1大气压力下之漏率 | ＜2×10-9 mbar․l /sec for O-ring ＜5×10-10 mbar․l /sec for gasket seal | |||
耐温限制 | Open | 200℃ Viton® bonnet seal | ||
Closed | 150℃ Viton® bonnet seal | |||
使用压力范围 (mbar) | HV: 1x10-8 ～ 1000 UHV: 1x10-10 ～1000 | |||
**使用压差 ΔP (mbar) | ≦ 30 before opening | |||
标准密封 | 闸门 | Viton O-ring | ||
阀盖 | Viton O-ring or OFHC copper gasket | |||
驱动器 | 气动式 Pneumatic | |||
气压源 |
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表面处理 | 表面抛砂处理 | |||
选配 | a. 位置指示器 | |||