热安（上海）仪器仪表有限公司  

欢迎来到 HEX 系列

⾼度模块化的   PVD   系统

  独特的开放式架构，为薄膜沉积研究⼈员提         

 供⽆与伦⽐的⽤户控制、定制和升级能⼒。

HEX  系列薄 膜沉 积 系统可 为 您的研究和 实施应⽤ 提供多种沉

积选项。 从基本系统开始，该装置可以升级到拥有不同配置 

源的仪 器。 这些升级是模块化的，安装简单，提供了⼀种经 

济⾼效的解 决⽅案，同时减少了系统停机时间。 ⽆论您的研 

 究⽅向是什么， H EX 都在您身边。