一、设备概述:
卧式退火炉设备可应用于集成电路、分立器件、 POWER、 MEMS等多种领域,适用于4-8英寸晶圆芯片的氧化、扩散、GPP、退火、合金等工艺。
精简顾问模式,可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。