设备性能指标 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路数 | 1管 |
3 | 加工晶圆尺寸 | 6-12寸 |
4 | 适用工艺 | 扩散（磷扩、硼扩）、氧化、退火、合金、铝预沉积 |
5 | 温度校准功能 | 具有自动校准温区功能，具有预先写入偏差值快速拉温区功能 |
6 | 控温模式 | Spike控温+Profile串级控温 |
7 | 控制系统结构 | 一体工控机+PLC |
8 | 报警保护: | 具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能 |
设备主要特点和优势
1★具有强大的操作功能，windows界面，显示屏操作，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
2★采用可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
3★程序可以实现手/自动工作，在停电或中途停机后，再次启动可以根据工艺手动升温，节省工艺时间；