Busch普旭  

TORRI

多级罗茨真空泵

TORRI 多级罗茨真空泵可为抽空 load lock 腔体提供结构紧凑、高效节能的解决方案。

该泵具有低极限压力和出色腔体抽真空时间等特点。

工作原理

TORRI BD 真空泵依据久经考验的旋转转子原理进行工作。通过转子的旋转运动，泵送介质被一级级输送至出口。

由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造，它们不会彼此触碰或触碰到壳体。此外，压缩腔内无需添加任何润滑液或工作液。

转子由直接耦合连接的同步水冷型电机驱动。