优化的气密性,适合中真空和高真空应用
可靠
特殊叶片设计,防止粉末和颗粒沉积,由 GGG40 材料制成的坚固结构,密封防漏
性能出色
专为满足中真空和高真空范围内要求严苛的应用(包括防止粉尘沉积的半导体工艺)而设计,出色的容积效率
灵活
在不同的操作条件下提供可靠的性能,提升大部分型号的前级泵的性能
| 技术参数 | PUMA WY 3600 A |
|---|---|
| 额定抽速 | 3600 m³/h |
| 抽速 | 2945 m³/h |
| **压差 | 30 hPa (mbar) |
| 电机额定功率 | 15 kW |
| 电机额定转速 | 5400 min⁻¹ |
| 重量(约) | 500 kg |
| 泄漏率 | < 1 · 10⁻⁶ mbar · l/s |
| 尺寸(L x W x H) | 1139 x 524 x 480 |
| 进气口 | DN 160 ISO |
| 排气口 | DN 160 ISO |

