扫描电镜配备牛津仪器波谱仪，可以实现微量及痕量元素、严重重叠峰元素的准确定量分析。牛津仪器AZtecWave系统结合了波谱仪解析X射线谱峰灵敏性、微量及痕量元素准确性以及能谱仪检测元素时的高速及高灵活性的优势。发挥波谱仪高X射线分辨率的特点，能够在更低的检测限下解析复杂的谱峰重叠。作为在高计数率下也可实现高准确定量分析的EDS探测器，Ultim Max能谱仪与Wave波谱仪结合，是一款优良的基于扫描电镜（SEM）下的微区元素定性定量分析系统。
· 具有罗兰圆几何和弯曲晶体的全聚焦波谱仪；
· 罗兰圆半径210mm，具有优异的能量分辨率；
· 倾斜式安装，工作距离对X-Ray信号强度较小；
· 峰背比高，检测限低于100ppm；
· 电动入射狭缝，可优化分辨率和峰背比；
· 软件导航式设计，初学者也可快速掌握WDS分析；