扫描电容显微镜（SCM）是一种表征材料纳米电学性质的原子力显微镜（AFM）成像技术，它使用微波射频（RF）信号来探测半导体和其它种类样品中的电荷，载流子的位置，掺杂水平和掺杂类型（p型和n型）等。全新快速扫描电容显微镜 SCM可以在牛津仪器的 Asylum Research 的快速扫描 Cypher 和 Jupiter XR AFM 平台上使用。
牛津仪器Asylum Research SCM模式的独特之处在于，它不仅可以测量微分电容（dC/dV），还可以测量分辨率低至1aF的电容，而且是可以直接测量电容。与传统的SCM相比，它具有更高的分辨率和更快的扫描速度。更高的灵敏度允许探测金属和绝缘体，以及传统半导体器件以外的非线性材料——包括那些不形成自然氧化物层的材料。