压力范围 1*10-7mbar to 1.2bar(abs)
压差范围 <=1.2bar
开启时压差 <=30mbar
安装位置 任意
启动时间 关闭6S、打开6S
泄漏率 上阀体<1*10-9mbar ls-1,下阀体<1*10-9mbar ls-1
**维修服务 100000（温度适宜且在清洁条件下）
压缩空气下降时的行为 关闭阀门保持关闭状态，开启浮动
停电时的行为 关闭接受定制、打开接受定制
材料 阀体ZL101，执行机构6061
密封材料 阀盖FKM(氟橡胶)，阀体FKM(氟橡胶)，执行机构FKM(氟橡胶);NBR(丁腈橡胶)
温度（**值：取决于操作条件和密封材料） 阀体<=120℃，执行机构<=80℃，加热及冷却速率：30℃h-1
GCQ系列 高真空铝合金插板阀