◆ 设备具有高稳定性、高可靠性的结构设计；
◆ 配备了自主研发的晶体生长控制系统；
◆ 配合低能耗、高清洁度热场系统及超导磁场，可实现全自动长晶；
◆ 生长晶体可满足半导体级8英寸轻掺硅片指标要求。
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SCG200系列半导体级单晶硅炉
详细信息 ◆ 设备具有高稳定性、高可靠性的结构设计； ◆ 配备了自主研发的晶体生长控制系统； ◆ 配合低能耗、高清洁度热场系统及超导磁场，可实现全自动长晶； ◆ 生长晶体可满足半导体级8英寸轻掺硅片指标要求。 |