◆ 设备采用全金属保温系统，可靠的密封设计可有效降低晶体中的碳和氧元素含量；
◆ 分段式钨网加热器温度梯度可控，周向温度均匀性好；
◆ 多种测温方式相结合使得测温精度高；
◆ 自主开发的温度、压力控制系统，可兼容多种温度、压力控制模式，满足不同长晶工艺的需求。
氮化铝原料提纯炉ANET920系列 新闻中心
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氮化铝原料提纯炉ANET920系列
详细信息 ◆ 设备采用全金属保温系统，可靠的密封设计可有效降低晶体中的碳和氧元素含量； ◆ 分段式钨网加热器温度梯度可控，周向温度均匀性好； ◆ 多种测温方式相结合使得测温精度高； ◆ 自主开发的温度、压力控制系统，可兼容多种温度、压力控制模式，满足不同长晶工艺的需求。 |