Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
功能
1.高温氧化工艺
2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺
技术参数
适配晶圆尺寸：4，6寸
适用衬底材料：碳化硅
适用领域：功率半导体、衬底材料、科研
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Bhadra™立式高温氧化炉HBO150
详细信息 Bhadra™立式高温氧化炉HBO150 功能 1.高温氧化工艺 2.DCE清洗去除可动离子作用和中高温退火工艺 技术参数 适配晶圆尺寸：4，6寸 适用衬底材料：碳化硅 适用领域：功率半导体、衬底材料、科研 |