系列产品参数
参 数 | ZRJ-20-18T | ZRJ-60-21L | ZRJ-80-22L | ZRJ3×6-80-20 |
| 空炉升温时间 min | ≤30(25℃～1700℃) | ≤30(25℃～1800℃) | ||
| 极限压力 Pa | 1×10-4 | 1×10-4 | 1×10-4 | 1×10-4 |
| 工作压力 Pa | 2×10-3 | 2×10-3 | 2×10-3 | 2×10-3 |
| 空炉恢复真空时间 min (大气至1.2×10-2Pa） | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
| 压升率 Pa/h | 0.5 | 0.3 | 0.3 | 0.3 |
| **承载量 Kg | 1 | 3 | 5 | 5×6（六工位） |
| 冷却方式 | 自然冷却 | 自然冷却 | 外循环强制冷却 | 外循环强制冷却 |
| 强制冷却功率 KW | - | - | 1.2 | 1.2 |
| **回填压力 | - | - | -0.02 | -0.02 |
| 自动控制 | PLC/智能控温仪，热电偶/红外测温仪 | |||
| 惰性气体 | 高纯干燥Ar，供气压力0.2～0.3MPa | |||
| 冷却水 | 进水温度≤32℃，供水压力0.2～0.3MPa，可选择开启式回水方式 | |||
| 压缩空气 | 无油干燥，供气压力0.5～0.6MPa | |||
| 设备总功率 KVA | 25 | 80 | 100 | 120 |