X射线荧光光谱仪(XRF是一种射线式分析仪器，是X射线分仪器的一种常用形式。能分析原子序数 12~ 92的所有元素，选择性高，分析微量组分时受基体的影响小，在地质、采矿和治金等部门应用很广.
X射线是一种电磁辐射，其波长介于紫外线和射线之间。它的波长没有一个严格的界限，一般来说是指波长为0.001-50nm的电磁射，X时线是用高速电了轰击原子的内层电子，使之处于高激发状态，同时外层的电子跃迁到缺少电子的内层轨道，在此过程中会伴随着以电磁波形式释放的能量，这种释放能量的电磁波能量大，波长小，肉眼不可见，称之为X射线
如果用高速电子激发产生的义射线又作为激发源何称之为一次义射)去未别的原子的内层电子，同样可产生X时线，只是这种X时线的自影量较一次X时经低，波长也较长，这种射线称为二次从射线或射线英光、荧光X射线，X射线荧光的波长是以受激物质(待测物质)的原子房数为特征的，原子房数越大的物质波长越短，各种不同的元素都有本身的特征X射线荧光波长，这是用X射线荧光原理的X射线荧光光谱仪进行定性分析的依据,而元素受激发射出来的特征X射线荧光的强度则取决于该元素的含量，这是定量分析的依据。