气体检测气相色谱仪分析方案：
分析CF4 O2 N2 CO CO2 N2O SF6
准确分析≤200PPM 检测精度≤1ppb
色谱条件：
仪器：气体检测氦离子气相色谱仪
高纯氦气净化器
色谱柱：3根
载气：氦气
分析O2、N2、CO、H2及CH4混合气体色谱条件：
仪器：GC-90气相色谱仪（带TCD检测器）
色谱柱：5A分子筛填充柱 40-60目
温度：柱温60℃ 检测室100℃ 汽化室100℃
载气：空气
进样量：1ml
分析丙烯及其杂质
色谱条件：
仪器：GC-90气相色谱仪（带TCD检测器）
色谱柱：AL2O3
温度：柱室120℃ 检测室120℃ 汽化室120℃
载气：H2
进样量：3ml