PD系列变螺距螺杆真空泵
基本特点:
1)高压段抽速快,运转功率低,噪音低。
2)可依制程/环境需求选用水冷(防爆)或气冷(防爆)马达。
3)气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水系统的环境
典型应用:
面板TFT-LCD
太阳能
冶金系统
镀膜
电浆制程
干燥处理
制程气体抽取
生技/制药
化工产业
技能参数:
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详细信息 PD系列变螺距螺杆真空泵
基本特点: 1)高压段抽速快,运转功率低,噪音低。 2)可依制程/环境需求选用水冷(防爆)或气冷(防爆)马达。 3)气冷马达机型可搭配自循环冷却系统,能使用在无冷却水系统的环境
典型应用: 面板TFT-LCD 太阳能 冶金系统 镀膜 电浆制程 干燥处理 制程气体抽取 生技/制药 化工产业
技能参数: |