ZEM-5 Series塞贝克系数/电阻测量系统可以对高温材料，高电阻材料，薄膜材料等多种材料进行测量。
应用：
评估半导体、陶瓷、金属等材料的热电性能。
特性：
1. 应用于各种材料的特性及特殊规格的薄膜等；
2. 测试Si系列(SiGe, MgSi). (HT 型) 的材料的**温度传感器是使用C型热电偶；
3. 标配V-I图自检测系统；
4. **测试温度1200℃（HT 型）；
5. **测量电阻10MΩ（HR 型）；
6. 测量在衬底上的热电沉积膜（TF 型）；
7. 温控范围在-150℃~200℃（LT 型）；
设备参数：
型号 | ZEM-5HT | ZEM-5HR | ZEM-5LT | ZEM-5TF |
特点 | 高温 | 高电阻 | 中低温 | 薄膜 |
温度范围 | 100~1200℃ | 50~800℃ | -150~200℃ | 50~500℃ |
工作气氛 | 低压He气 | |||
试样尺寸 | Square 2-4 mm or φ2-4 mm × 3-15 mm L | 基质沉积： 2-4 mm W × 0.4-1.2 mm t × 20 mm L 薄膜厚度：纳米级或更厚 ※试样和基底之间需要绝缘层； | ||
Seebeck系数测量方法 设备参数（HT型）